芯片微缩超越晶体管:SEMICON West 2026 聚焦系统级协同优化
SEMICON West 2026 上,SEMI 预计 2030 年市场规模超 2 万亿美元、2035 年或达 3 万亿美元,今年 300mm 晶圆厂设备支出将达 1490 亿美元。先进封装、光子学、功率与测试正融合为同一个优化问题,Intel Foundry 与 Marvell 高管称封装已成为系统创新的起点。AI 也从辅助工具走向长周期自主智能体,行业关注将赋予它多少工程与制造权限。
SEMICON West 2026 上,SEMI 预计 2030 年市场规模超 2 万亿美元、2035 年或达 3 万亿美元,今年 300mm 晶圆厂设备支出将达 1490 亿美元。先进封装、光子学、功率与测试正融合为同一个优化问题,Intel Foundry 与 Marvell 高管称封装已成为系统创新的起点。AI 也从辅助工具走向长周期自主智能体,行业关注将赋予它多少工程与制造权限。
Intel Foundry 在供电白皮书中提出把电压调节移近负载,以应对堆叠芯片架构下电流密度与独立电压域数量上升带来的供电难题。其技术组合包括 CoaxMIL 磁电感、全电容式 IVR chiplet C2VR,以及可置于封装层内或计算裸片下方的 IVR chiplet 架构。这些方案旨在降低封装内电流密度、提升调节带宽并减少对大容量去耦电容网络的依赖。
Semiconductor Engineering 汇总多位业界人士观点指出,先进封装从 300mm 晶圆转向 600mm 面板并非简单放大,涂布、光刻、翘曲控制与检测等围绕圆形工件建立的工艺假设都需要重新审视。
Semiconductor Engineering 分析指出,晶圆厂与 OSAT 的传统分工正在模糊,2.5D 集成和面板级封装成为重叠最大的领域,混合键合目前仍以晶圆厂为主,但随着需求超过晶圆厂产能,可能向 OSAT 扩散。
Intel 周三宣布亚利桑那 Fab 62 已开始安装生产设备,该厂预计 2028 年底前投入运营,但尚未公布量产时间与制程。Intel 同时确认 High-NA EUV 已进入大规模量产,用于 D1X 厂生产 Panther Lake 等芯片。俄亥俄 One 工厂首座厂房完成首个主要结构桁架安装,Intel 未给出投产时间表。
三星据悉将采用台积电3纳米工艺生产英伟达HBM基底裸片。消息未披露具体产品型号、产能规模或时间表。
华海清科在2026湾芯展发布中束流离子注入机 iHQ-900E 和面向先进封装的国产面板级 CMP 量产方案 Master-P510APEX。iHQ-900E 围绕剂量均匀性、角度及 WPH 等指标展示相较国外竞品的性能优势。同期 Universal-200 Smart 通过深圳平湖实验室国产化验收,公司获授湾芯展卓越企业荣誉。
华海清科在第二十六届国芯展上集中展示CMP、离子注入、减薄、划切、湿法等高端半导体装备及服务,离子注入系列装备成为现场交流热点。公司面向板级先进封装推出Panel CMP、Panel减薄等系列装备与成套解决方案,副总裁陈炯在同期论坛重点解读了离子注入系列装备的产品布局。
中微公司在2026湾芯展上重点推介最新发布的两款设备,Primo XD-RIE™极高深宽比刻蚀机与Prefima Unicore™ AM 12英寸ALD钼设备。
推荐理由:中微在展会上推介两款新设备,其中ALD钼设备切入存储厂商钼基字线切换窗口,可跟踪其客户导入节奏。
TrendForce 最新 AI 互连技术研究指出,AI 数据中心对高速传输的需求正加速共封装光学(CPO)的转型,光电一体化测试平台成为 CPO 量产的关键,并正在重塑测试设备供应链。
推荐理由:TrendForce 判断光电一体化测试平台是 CPO 量产的关键环节,读者可据此关注测试设备供应链的格局变化。
华海清科自主研发的全自动板级CMP量产装备Master-P510APEX顺利出机,发往先进封装产线投入量产应用,为国内首台进入量产线的全自动板级CMP装备。该装备针对大尺寸板级封装设计,具备全板面均匀性与平坦化控制能力,支持低缺陷抛光,并通过智能终点检测与自动化控制实现多种工艺模式切换。华海清科称将围绕面板级工艺需求逐步推出覆盖多工艺环节的成套解决方案。
推荐理由:国产板级CMP装备首次进入量产线,可跟踪板级封装工艺环节的国产设备配套进度。
华海清科新一代双工作台高效划切装备Versatile-DT300D首台正式出机,发往国内先进存储龙头企业。该装备面向存储芯片、先进封装、图像传感器场景定制开发,搭载双工作台全自动切割模块与高洁净清洗系统,并集成智能量测模块拓展切割量测与缺陷检测范围。华海清科现有产品矩阵覆盖CMP、离子注入、减薄、划切、边缘抛光、湿法、晶圆再生及耗材维保服务。
推荐理由:国产划切装备首台进入国内先进存储龙头产线,可跟踪其在先进封装与存储场景的验证进展。
北方华创首台600mm×600mm面板级封装去胶设备(Descum)成功出厂,用于面板级封装去胶工艺。该设备在大翘曲度基板低温去胶、大面积刻蚀均匀性等核心技术上取得突破,刻蚀均匀性与基座表面温度均匀性满足业内主流需求。北方华创称该定制化方案为客户面板级封装研发与后续规模化量产提供技术基础。
推荐理由:原文给出首台600mm×600mm面板级封装Descum设备出厂节点,读者可据此跟踪国产设备在面板级封装环节的导入进展。
Tokyo Electron 发布 Prexa SDP 器件探针台,面向先进封装中单颗未封装器件的 KGD 筛选测试。该设备沿用 Prexa 系列晶圆探针台平台,配备可高精度主动控温的热头与更强吸热能力,用于应对高发热器件测试中的散热与温度控制难题。TEL 表示,随着 HPC 与 AI 芯片采用 2.5D/3D 封装,单颗器件的高精度测试对提升最终良率愈发关键。
推荐理由:TEL 推出面向先进封装 KGD 筛选的单颗器件探针台,温度控制与散热能力是差异化点。