先进封装从晶圆转向面板时哪些工艺环节会失效

Semiconductor Engineering 汇总多位业界人士观点指出，先进封装从 300mm 晶圆转向 600mm 面板并非简单放大，涂布、光刻、翘曲控制与检测等围绕圆形工件建立的工艺假设都需要重新审视。