国产光刻机

环节与卡点

1. 01

   光源

   🔴 卡点#国产化 科益虹源是国内唯一、全球第三家全链条做光刻准分子激光的公司（未上市；中科院微电子所、亦庄、哈勃持股）

   高重频准分子激光器全球只有两家，Cymer（ASML旗下）占80%以上

   A股相关

   福晶科技002222（非线性晶体）【圈外】；波长光电301421（照明，圈内列入【圈 07-27】，但公司自称半导体营收很小 [L4]）

   海外

   Cymer、Gigaphoton

2. 02

   物镜/照明光学

   🔴 卡点#国产化 国望光学、国科精密（均未上市）

   波像差和NA互相制约；Zeiss是ASML关键光学件独供商

   A股相关

   茂莱光学688502（I线物镜独供S3、KrF照明供上海微电子；在手订单12–13亿【圈 10-15】）；奥普光电002338（光栅编码器，工件台测量关键件）【圈外】

   海外

   Zeiss、Nikon、Canon

   事件 09-20事件 10-30精选稿 09-20 · 66 ›精选稿 09-20 · 65 ›
3. 03

   双工件台

   🔴 卡点#国产化 华卓精科是国内首家也是唯一商业化厂商，相关业务客户只有上海微电子

   要求MA<1nm、MSD约7nm的纳米级运动控制，是ASML的“杀手锏”

   A股相关

   华卓精科（未上市。2026-06-30科创板二次申报获受理，09-18披露首轮问询回复；09-30因财务资料过期中止审核，属程序性暂停而非终止）【上交所披露/公开报道】

   海外

   ASML自研

4. 04

   浸没系统

   —#国产化 启尔机电（未上市）

   气泡消除、水温控制、超纯水TOC/颗粒控制

   A股相关

   捷众科技873690（启尔机电的供应商）【圈外】

   海外

   ASML自研

5. 05

   镀膜/疏水膜耗材

   —#国产化 菲沃泰是国内浸润式DUV相关镀膜唯一供应商

   超疏水与耐紫外要同时满足；3–4个月换一次，单台价值数千万

   A股相关

   菲沃泰688371（2月量产，订单2000多万【圈 07-27】）、汇成真空301392（光刻机镀膜设备配合华为系，验收周期约1.5年【圈 09-17】）

   海外

   —

6. 06

   结构件/运动平台

   —#国产化 —

   光刻机头部客户（新凯来、宇量昇）认证

   A股相关

   美利信301307（26–28年自建产能5/10/20亿【圈 07-27】）、富创精密688409、新莱应材300260

   海外

   Berliner Glas、京瓷

7. 07

   整机集成

   🔴 卡点#国产化 上海微电子占国内光刻机出货80%以上（未上市）

   圈：技术已攻克，瓶颈是集成良率

   A股相关

   —

   海外

   ASML

   事件 11-09事件 11-09精选稿 11-09 · 71 ›精选稿 11-09 · 63 ›

重点公司

• 茂莱光学688502光刻物镜/量检测光学

  测量能力形成壁垒；国产DUV物镜已有研发订单；Onto、飞测为大客户，产能是主要瓶颈

  【圈 10-30】Q3营收+58.26%、扣非+115.20%；实控人承诺至2027-04-28不减持；【圈 09-15】在手12–13亿；【圈 10-15】飞测进入前五大客户

  事件 10-30事件 09-20精选稿 09-20 · 66 ›
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卡点事件

• 09-20
  茂莱光学：DUV投影物镜小批量研发订单，量检测Onto/飞测翻倍精选稿1 › · 精选稿2 ›
  信号
• 10-30
  茂莱光学 2026Q3：营收同比+58.26%、扣非净利同比+115.20%，半导体与 AR/VR 检测需求拉动库内稿 ›
  已确认
• 11-09
  ASML警示2027–2028年EUV产能不足，三星与SK海力士争抢机台精选稿 ›
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• 11-09
  上海微电子展示新一代前道与先进封装光刻系统，称前道关键部件国产化率超90%精选稿 ›
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