重点公司

日系垄断超90%，NGK扩产要到2029年；国产加热器已量产，ESC从小批量转向批量，量价齐升

【圈 10-26】Q3收入3.47亿（+26.78%）、归母0.53亿（-26.81%），毛利率38.41%（新料号爬坡承压），厂房扩约一倍；【圈 10-20】27E PE不到40倍；【圈 08-25】ESC涨价9–11%

国内设备零部件平台龙头；Gasbox与鸿舸合计约占国内80%；新基地爬坡带来利润弹性

【圈 10-20】单月订单增长超3倍；在手订单19.24亿元（人民币，已核实）

国产份额不到10%，先进制程约为0；作为拓荆核心供应商，从低功率PECVD切入，等待刻蚀和高功率突破

【圈 08-25】涨价13–15%；H1收入-8%

国产化率不足10%；明暗场设备已在两存批量出货，订单翻倍增长，被称为“中国KLA”

【圈 10-27】埃科光电称26Q3起飞测订单显著增加（量检测相机国产独供）；【圈 10-20】全年订单75–80亿，27E 170亿

唯一与光刻机联机的设备，TEL垄断且提价10%以上；新架构Track验证通过后弹性大

【圈 07-27】跟踪；业绩会：前道新签占约六成

存储测试机国产化率在10%以内；绑定长鑫并向外扩展客户，已签大单

【圈 09-03】提前完成年内50亿订单目标

爱德万、泰瑞达双寡头交期长；作为昇腾测试机主力供应商，测试量价齐升

【公告 10-27】Q3营收24.81亿（+53.93%）、归母8.01亿（+82.73%）

探针扩产受限于走心机，全行业缺货涨价；英伟达唯一大陆供应商，份额提升

【圈 10-26】AMD FT 今年在手订单约5–6千万；【圈 10-25】Rubin FT探针11月起单月营收预计7000–8000万，CP探针卡10月底上机；【圈 10-08】Rubin探针10月开始量产；【圈 10-13】Q4英伟达收入近2亿

光芯片缺货周期中国产龙头；CW大功率芯片批量供应国内外客户，H1利润增长显著

【圈 08-11】作为瓶颈资产重估参照（圈内近期信号少）

测量能力形成壁垒；国产DUV物镜已有研发订单；Onto、飞测为大客户，产能是主要瓶颈

【圈 10-30】Q3营收+58.26%、扣非+115.20%；实控人承诺至2027-04-28不减持；【圈 09-15】在手12–13亿；【圈 10-15】飞测进入前五大客户

靶材全球龙头之一、涨价开始兑现；零部件单月交付超2亿元，自研ESC首枚下线并获设备厂适配，定增扩5100个/年ESC产能，切入日系垄断的静电卡盘

【圈 10-28】Q3扣非2.27亿（+94%），毛利率31.93%环比+4.1pct；ESC 27Q1有望小批量；【圈 10-27】零部件单月收入已超2亿，目标26年底单月交付2.5亿