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半导体设备

4 🔴 · 0 🟠 · 9 环节 · 8 条事件 · 主站精选 · 同主题流

半导体设备半导体零部件国产光刻机晶圆代工与存储先进封测与探针光通信/光模块配套算力/AI Infra物理AI/端侧AI网络安全/AI安全商业航天
速览价值链
整机国产化最快的是刻蚀和薄膜沉积，最卡的是光刻、涂胶显影、量检测和高端测试机。圈内已提示：2026Q3起，整机交付的约束从整机本身转向上游零部件。海外前道设备交期拉长到12–24个月并已涨价 。

环节与卡点

  1. 01

    光刻

    🔴 卡点#国产化 约1%

    光源/物镜/工件台三大子系统全被海外垄断，整机集成良率需多年迭代

    A股相关
    芯碁微装688630（直写/先进封装光刻）；上海微电子未上市
    海外
    ASML、Nikon、Canon
  2. 02

    涂胶显影

    🔴 卡点#国产化 约6%（另一口径5–10%）

    与光刻机联机作业，直接影响光刻精度；前道验证周期长；TEL近乎独占

    A股相关
    芯源微688037（圈：国内唯一量产前道涂胶显影【圈 07-27】）；盛美上海688082【圈外】
    海外
    TEL、SCREEN
    事件 07-27精选稿 07-27 · 76 ›
  3. 03

    量检测

    🔴 卡点#国产化 约10%（Bernstein）/1–10%（国金）

    光学+算法+缺陷库积累，晶圆厂验证久，叠加出口管制；KLA市占55.8%

    A股相关
    中科飞测688361（圈：全年订单75–80亿，27E 170亿【圈 10-20】）；精测电子300567（连续公告先进逻辑客户订单【圈 07-23】）
    海外
    KLA、AMAT、Hitachi、ONTO
    事件 10-20精选稿 10-20 · 68 ›
  4. 04

    离子注入

    —#国产化 约13%

    本土增速86%但基数低，进入壁垒高

    A股相关
    先导基电600641（两大逻辑客户批量订单，26H2 DRAM大单【圈 07-23】）
    海外
    Axcelis、AMAT
  5. 05

    薄膜沉积

    —#国产化 约27%

    存储/先进逻辑ALD、PECVD层数增加；CVD/ALD另一口径仅5–10%

    A股相关
    拓荆科技688072（长鑫成26H1第一大客户【圈 07-23】）、北方华创002371、中微公司688012
    海外
    AMAT、Lam、TEL、ASM
    事件 11-06事件 11-06精选稿 11-06 · 80 ›精选稿 11-06 · 70 ›精选稿 11-06 · 62 ›
  6. 06

    刻蚀

    —#国产化 约31%（另一口径55–65%）

    进入甜蜜点；中微/华创国产份额各47–48%

    A股相关
    中微公司688012、北方华创002371（前三季度新签570亿，全年约800亿【圈 10-20】）
    海外
    Lam、TEL、AMAT
    事件 11-06事件 11-06精选稿 11-06 · 80 ›精选稿 11-06 · 70 ›精选稿 11-06 · 62 ›
  7. 07

    清洗/CMP/热处理/去胶

    —#国产化 清洗50–60%、CMP 30–40%、去胶≥80%

    门槛相对低，国产已主导成熟节点

    A股相关
    华海清科688120、盛美上海688082【圈外】、北方华创
    海外
    SCREEN、Ebara、AMAT
    事件 11-04事件 11-06精选稿 11-06 · 62 ›
  8. 08

    后道测试机

    🔴 卡点#国产化 SEMI：全球测试设备26年153亿→28年208亿美元【圈 09-20】

    测试时长Hopper 1 / Blackwell 4 / Rubin 7；高端SoC/存储测试机国产8–10%

    A股相关
    长川科技300604、华峰测控688200、精智达688627、联动科技301369、联讯仪器688808
    海外
    Advantest、Teradyne
    事件 10-21事件 09-03精选稿 09-03 · 78 ›
  9. 09

    分选/超扫/封装设备

    —#国产化 封装设备整体国产化约38.6%（2025）

    混合键合瓶颈已从对准精度转向键合应力

    A股相关
    金海通603061、骄成超声688392、耐科装备688419、ASMPT(0522.HK)
    海外
    Besi、DISCO、Cohu

重点公司

卡点事件