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半导体零部件

3 🔴 · 1 🟠 · 10 环节 · 13 条事件 · 主站精选 · 同主题流

半导体设备半导体零部件国产光刻机晶圆代工与存储先进封测与探针光通信/光模块配套算力/AI Infra物理AI/端侧AI网络安全/AI安全商业航天
速览价值链
零部件是这一轮设备扩产里真正的卡点。2024年零部件整体国产化率只有7.1%，而整机约26% 。圈内判断“设备卖爆，零部件开始缺货”，北方华创缺的是EFEM、MFC/真空规、射频电源、静电卡盘。按Serenity的框架，最值得关注的是供应商最少、认证进入参考设计后难替换、且已经涨价的四类：静电卡盘/陶瓷加热器、射频电源、MFC、真空泵阀。

环节与卡点

  1. 01

    静电卡盘/陶瓷加热器

    🔴 卡点#国产化 日本产量占全球84.7%；国产<10%

    三道壁垒：陶瓷烧结、静电吸附、多区温控；平整度0.05μm；单价2–5万美元，约两年换一次。圈：陶瓷加热器“真正制约存储扩产”，今年需求5000只、明年保守8000只，海外设备商和晶圆厂都在抢货

    A股相关
    珂玛科技301611（氮化铝基卡盘小批量、第二款加热器批量【圈 08-23】【圈 08-25】）、中瓷电子003031（12寸氧化铝卡盘在北方华创上机验证【圈 08-25】）、江丰电子300666；华卓精科未上市
    海外
    NGK、SHINKO、TOTO、京瓷、CoorsTek、Entegris
    事件 10-28事件 08-25事件 08-11事件 08-11精选稿 10-28 · 73 ›
  2. 02

    射频电源

    🔴 卡点#国产化 国产化从2021年<5%升到2024年近12%

    等离子体设备的“心脏”；一旦进入设备参考设计，替换成本极高；14nm以下基本是AE/MKS。圈：先进制程射频电源涨价13–15%

    A股相关
    恒运昌688785（PECVD低功率，配套拓荆【圈 08-25】）、英杰电气300820（刻蚀用，先进制程份额≈0【圈 08-25】）、北方华创（旗下华丞电子）
    海外
    AE、MKS、Comet、TRUMPF、DAIHEN
    事件 08-25事件 08-11事件 10-12
  3. 03

    MFC 质量流量控制器

    🔴 卡点#国产化 Horiba>60%，前五≈85%；国产<5%

    难点是在腐蚀性气体中长期不漂移，需要材料、封装、标定全链条积累；涨价6%

    A股相关
    圈内点名华创微电子、蓝动精密、先导科技【圈 08-25】，三者均未单独上市（公开检索未见独立A股代码）
    海外
    Horiba、Brooks、MKS、Fujikin
    事件 08-11
  4. 04

    真空泵

    🟠 次级#国产化 Edwards 22%、Pfeiffer 14%、ULVAC 10%、Ebara 9%；海外>90%

    转子动平衡、轴承寿命要长期积累；涨价约9%，先进制程真空泵国内暂无供应，沈阳科仪仅在长存128/256层小批量验证

    A股相关
    中科仪920186（北交所2026-04上市，国内IC干泵份额12.72%）【圈外】、汉钟精机002158【圈外】、京仪装备688652
    海外
    Edwards（Atlas Copco）、Ebara、Pfeiffer
  5. 05

    真空阀/真空计

    —#国产化 VAT≈71%

    VAT一家独大；真空阀涨价约7%，真空计国内无供应、涨价约12%；波纹管交期从20天（2020）拉长到4个月（2026）

    A股相关
    新莱应材300260（对标VAT，9月环比+50%【圈 10-20】）、江丰电子
    海外
    VAT、MKS、KITZ
    事件 08-25
  6. 06

    Gasbox 气体输送

    —#国产化 国内26年约150亿、28年约300亿，国产渗透约15%【圈 08-26】

    组装属性、产能弹性大；“当前气柜海外紧缺”

    A股相关
    正帆科技688596（25年收入约7亿【圈 07-27】）、富创精密688409
    海外
    Ichor、UCT
    事件 09-20精选稿 09-20 · 72 ›
  7. 07

    机械类工艺件

    —#国产化 国产较高；第一梯队仍是Ferrotec、京鼎

    需求旺，矛盾从“有没有产能”转向“产能能否高效爬坡”

    A股相关
    富创精密688409、江丰电子300666、先锋精科688605、美利信301307
    海外
    Ferrotec、京鼎精密
    事件 08-11事件 09-20事件 10-23事件 11-06精选稿 09-20 · 72 ›精选稿 11-06 · 62 ›
  8. 08

    石英/硅/陶瓷耗材

    —#国产化 27年国内石英件约100亿【圈 08-11】

    晶圆厂直采比例在提升，存量替换市场可能是新增的两倍

    A股相关
    正帆科技（汉京，国内首条极高纯石英线【圈 07-27】）、神工股份688233、菲利华300395（普通石英件可做，高纯石英件依赖进口、涨价12–15%【圈 08-25】）
    海外
    Ferrotec、信越石英、CoorsTek
  9. 09

    高纯氟聚合物/密封件

    —#国产化 科慕+大金占PFA名义产能40%以上

    3M退出PFAS；FFKM国内有效产能仅8–10吨，受低析出和认证约束

    A股相关
    巨化股份600160【圈外】、新宙邦300037（PFPE）【圈外】
    海外
    杜邦、Greene Tweed、大金
  10. 10

    光学零部件

    —#国产化 —

    见光刻机地图

    A股相关
    茂莱光学688502、埃科光电688610
    海外
    Zeiss
    事件 09-20事件 10-30精选稿 09-20 · 66 ›精选稿 09-20 · 65 ›
  11. 11

    设备整机

    —#

    汇总节点：各类零部件装入刻蚀、沉积等半导体设备整机，本身不单列卡点与公司

    A股相关
    —

重点公司

  • 珂玛科技301611陶瓷加热器/静电卡盘

    日系垄断超90%，NGK扩产要到2029年；国产加热器已量产，ESC从小批量转向批量，量价齐升

    【圈 10-26】Q3收入3.47亿（+26.78%）、归母0.53亿（-26.81%），毛利率38.41%（新料号爬坡承压），厂房扩约一倍；【圈 10-20】27E PE不到40倍；【圈 08-25】ESC涨价9–11%

    事件 08-25事件 08-11
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  • 富创精密688409零部件平台/Gasbox

    国内设备零部件平台龙头；Gasbox与鸿舸合计约占国内80%；新基地爬坡带来利润弹性

    【圈 10-20】单月订单增长超3倍；在手订单19.24亿元（人民币，已核实）

    事件 09-20精选稿 09-20 · 72 ›事件 08-11事件 2025-10-23
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  • 恒运昌688785射频电源

    国产份额不到10%，先进制程约为0；作为拓荆核心供应商，从低功率PECVD切入，等待刻蚀和高功率突破

    【圈 08-25】涨价13–15%；H1收入-8%

    事件 08-25
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  • 江丰电子300666靶材/静电卡盘

    靶材全球龙头之一、涨价开始兑现；零部件单月交付超2亿元，自研ESC首枚下线并获设备厂适配，定增扩5100个/年ESC产能，切入日系垄断的静电卡盘

    【圈 10-28】Q3扣非2.27亿（+94%），毛利率31.93%环比+4.1pct；ESC 27Q1有望小批量；【圈 10-27】零部件单月收入已超2亿，目标26年底单月交付2.5亿

    事件 10-28精选稿 10-28 · 73 ›
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卡点事件