上海微电子前道干式光刻机落地，流片突破千万片
驱动之家报道称，上海微电子前道干式光刻机已落地，流片突破千万片。原文仅给出这一标题式信息，未披露具体机型、客户或时间节点。
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Google新闻 · HBM/光刻/封装AI 评分5858
Google新闻 · HBM/光刻/封装AI 评分5757 上海微电子新一代前道干式光刻机亮相进博会，关键零部件国产化率超90%
上海微电子新一代前道干式光刻机在进博会上亮相，关键零部件国产化率超过90%。
Google新闻 · HBM/光刻/封装AI 评分5252 上海微电子前道干式光刻机落地：流片破千万片
上海微电子前道干式光刻机落地，流片突破千万片。该报道将这一进展称为国产光刻机的里程碑，但未披露设备型号、制程节点或客户信息。
Google新闻 · HBM/光刻/封装AI 评分4242 上海微电子新一代前道干式光刻机模型亮相进博会，累计流片超千万片
上海微电子在进博会展出新一代前道干式光刻机模型，该系列设备累计流片已超千万片。原文未披露新机型的具体型号、制程节点与参数信息。
Google新闻 · HBM/光刻/封装AI 评分2626 上海微电子新一代光刻机模型亮相，展示我国前道光刻装备自主化阶段性成果
上海微电子新一代光刻机模型亮相，展示我国前道光刻装备自主化的阶段性成果。原文未披露该机型的具体型号、制程节点与量产时间等信息。
Google新闻 · HBM/光刻/封装AI 评分2626 上海微电子展出两款前道干式光刻机模型
上海微电子展出两款前道干式光刻机模型。原文未披露具体型号、制程节点与参数信息。
Google新闻 · HBM/光刻/封装AI 评分2222 昨夜今晨：上海微电子新光刻机亮相、搜狗问问停服、仰望鼎曜正式公布
上海微电子新光刻机亮相，搜狗问问宣布停服，仰望鼎曜正式公布。原文未披露新光刻机的具体型号、制程节点或性能参数，也未说明搜狗问问停服时间与仰望鼎曜的产品细节。
Google新闻 · HBM/光刻/封装AI 评分2222 上海微电子新一代光刻机模型亮相，展示我国前道光刻装备自主化阶段性成果
上海微电子新一代光刻机模型亮相，展示我国前道光刻装备自主化的阶段性成果。原文未披露该机型的型号、制程节点、光源方案与量产时间等具体参数。
DIGITIMESAI 评分6060 SMEE 展示新一代前道与先进封装光刻设备，称关键部件国产化率超 90%
上海微电子（SMEE）展示覆盖前道晶圆制造与先进封装的新一代自研光刻系统，并称前道设备关键部件国产化率超过 90%，相关设备正推进量产。这是中国半导体设备本土化进程的又一进展。