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上海微电子前道干式光刻机落地，流片突破千万片
国产光刻机里程碑！上海微电子前道干式光刻机落地：流片破千万片 - 驱动之家
AI 导读
驱动之家报道称，上海微电子前道干式光刻机已落地，流片突破千万片。原文仅给出这一标题式信息，未披露具体机型、客户或时间节点。
来源：Google新闻 · HBM/光刻/封装 · news.google.com
上海微电子前道干式光刻机落地，流片突破千万片
国产光刻机里程碑！上海微电子前道干式光刻机落地：流片破千万片 - 驱动之家
驱动之家报道称，上海微电子前道干式光刻机已落地，流片突破千万片。原文仅给出这一标题式信息，未披露具体机型、客户或时间节点。
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