上海微电子前道干式光刻机落地

驱动之家报道称，上海微电子前道干式光刻机已落地，流片突破千万片。报道仅给出这一标题式信息，未披露具体机型、客户或时间节点，因此“落地”和“流片破千万片”的具体所指尚不明确。

AI 根据报道生成 · 4 天前更新

还没有足够的连续观测数据，暂不绘制趋势。