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上海微电子前道干式光刻机落地：流片破千万片
国产光刻机里程碑！上海微电子前道干式光刻机落地：流片破千万片 - 手机新浪网
AI 导读
上海微电子前道干式光刻机落地，流片突破千万片。该报道将这一进展称为国产光刻机的里程碑，但未披露设备型号、制程节点或客户信息。
来源：Google新闻 · HBM/光刻/封装 · news.google.com
上海微电子前道干式光刻机落地：流片破千万片
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上海微电子前道干式光刻机落地，流片突破千万片。该报道将这一进展称为国产光刻机的里程碑，但未披露设备型号、制程节点或客户信息。
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