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上海微电子新一代前道干式光刻机模型亮相进博会，累计流片超千万片
上海微电子新一代前道干式光刻机模型亮相进博会 累计流片超千万片 - 观点网
AI 导读
上海微电子在进博会展出新一代前道干式光刻机模型，该系列设备累计流片已超千万片。原文未披露新机型的具体型号、制程节点与参数信息。
来源：Google新闻 · HBM/光刻/封装 · news.google.com
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上海微电子在进博会展出新一代前道干式光刻机模型，该系列设备累计流片已超千万片。原文未披露新机型的具体型号、制程节点与参数信息。
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