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上海微电子新一代光刻机模型亮相，展示我国前道光刻装备自主化阶段性成果
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上海微电子新一代光刻机模型亮相，展示我国前道光刻装备自主化的阶段性成果。原文未披露该机型的具体型号、制程节点与量产时间等信息。
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上海微电子新一代光刻机模型亮相，展示我国前道光刻装备自主化阶段性成果