跳到正文
11月11日周三
11月9日周一
11月8日周日
11月5日周四
11月4日周三
10月30日周五
10月27日周二
10月26日周一
  1. Semiconductor Engineering38

    KU Leuven 等团队发现干法沉积卤化 a-ZIF 光刻胶在 EUV 与电子束下呈现不同调性转换

    KU Leuven、群山国立大学、VUB 与 imec 等团队发表研究,报道一种完全干法沉积的卤化非晶沸石咪唑酯骨架(a-ZIF)金属有机光刻胶,在电子束与 EUV 曝光下表现出明显的辐照源依赖调性转换。相关论文发表于 ACS Applied Materials & Interfaces。

10月20日周二