TEL 预计年度营业利润增长近 90%，并宣布 1500 亿日元回购
Tokyo Electron（TEL）预计年度营业利润增长近 90%，原因是芯片制造商为满足 AI 硬件需求而加快资本支出。公司同时宣布 1500 亿日元股份回购计划。
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Tokyo Electron · Product News精选AI 评分5858 Tokyo Electron 发布 300mm 晶圆批量热处理系统 EVAROS
Tokyo Electron 发布面向 300mm 晶圆的批量热处理系统 EVAROS，单批最多可处理 200 片晶圆，超过此前 300mm 机型。该系统采用新开发的多区控制加热器，并配备大直径排气管道以提升 conductance，面向 ALD 等先进器件沉积工艺；每片晶圆 CO2 排放较 TELINDY PLUS 减少约 25%，同时降低电力、冷却水和气体消耗。
推荐理由：TEL 发布新一代批量热处理系统，单批 200 片与每片 CO2 减排约 25% 是核心规格变化。