佳能发布KrF光刻机FPA-6400ES6a，12月上市
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佳能发布KrF光刻机FPA-6400ES6a，12月上市
6 篇报道2 个报道来源11 小时前更新
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AI 综述
佳能宣布推出KrF光刻扫描机FPA-6400ES6a，计划2026年12月上旬上市，用于存储与逻辑半导体制造。佳能称其产能为每小时400片晶圆、套刻精度可达4nm，这些是厂商说法，尚无已验证的使用效果；报道同时提到该设备不采用EUV方案，且佳能未公布具体上市日期、价格或出货量。 这是佳能KrF光刻机时隔约十四年的全面换代，针对成熟制程的产能压力与晶圆翘曲问题。 参数披露上报道存在出入：部分报道称新机套刻精度4.0nm，另有报道称未披露分辨率、套刻精度、产能或上市时间等具体参数。
AI 根据报道生成 · 10 小时前更新
最新进展11月11日 16:33
佳能发布KrF半导体光刻机FPA-6400ES6a事件进展
3 个进展
- 11月10日 17:51 · 1 篇报道佳能即将推出新款KrF光刻机Google新闻 · HBM/光刻/封装：佳能新款KrF光刻机即将推出，套刻精度达4.0nm
- 11月10日 16:33 · 1 篇报道佳能KrF光刻机时隔十四年全面换代Google新闻 · HBM/光刻/封装：佳能KrF光刻机时隔十四年全面换代：成熟制程的产能焦虑与翘曲难题有了新解法
- 11月10日 12:18 · 4 篇报道佳能推出高性能KrF光刻机DIGITIMES：Canon 将于12月推出 KrF 光刻扫描机 FPA-6400ES6a，产能达每小时400片晶圆
报道时间线
沿着报道，了解事件的不同侧面。
11月11日
- Google新闻 · HBM/光刻/封装佳能发布KrF半导体光刻机FPA-6400ES6a
佳能发布KrF半导体光刻机FPA-6400ES6a。原文未披露该机的分辨率、套刻精度、产能或上市时间等具体参数。
- DIGITIMESCanon 将于12月推出 KrF 光刻扫描机 FPA-6400ES6a，产能达每小时400片晶圆
Canon 宣布将于2026年12月上旬推出用于存储与逻辑半导体制造的 KrF 扫描机 FPA-6400ES6a，产能达每小时400片晶圆。官方未公布具体上市日期、价格或出货量。
11月10日
- Google新闻 · HBM/光刻/封装佳能KrF光刻机时隔十四年全面换代：成熟制程的产能焦虑与翘曲难题有了新解法
佳能KrF光刻机时隔十四年全面换代，针对成熟制程的产能焦虑与晶圆翘曲难题给出新解法。原文未披露具体型号、参数与售价等信息。
- Google新闻 · HBM/光刻/封装佳能发售KrF半导体光刻机FPA-6400ES6a，主打高生产率与业界高水平套刻精度
佳能发售KrF半导体光刻机FPA-6400ES6a，主打高生产率与业界高水平套刻精度。该机型面向KrF光刻环节，官方强调其在生产率和套刻精度两方面的表现。
本事件热度走势
- 可比范围当前
- 15
- 可比范围峰值
- 1911月11日 17:00
- 近 24 小时变化
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05101520
06:0012:0018:0011月12日
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