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佳能发售KrF半导体光刻机FPA-6400ES6a，主打高生产率与业界高水平套刻精度
佳能发售KrF半导体光刻机“FPA-6400ES6a” 实现高生产率和业界高水平套刻精度 - 驱动之家
AI 导读
佳能发售KrF半导体光刻机FPA-6400ES6a，主打高生产率与业界高水平套刻精度。该机型面向KrF光刻环节，官方强调其在生产率和套刻精度两方面的表现。
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