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Canon 将于12月推出 KrF 光刻扫描机 FPA-6400ES6a，产能达每小时400片晶圆
Canon to launch KrF lithography scanner rated at 400 wafers per hour in December
AI 导读
Canon 宣布将于2026年12月上旬推出用于存储与逻辑半导体制造的 KrF 扫描机 FPA-6400ES6a，产能达每小时400片晶圆。官方未公布具体上市日期、价格或出货量。
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