北方华创发布首台12英寸微波ECR等离子体刻蚀设备Acme Helix430

北方华创首台面向先进工艺节点的12英寸微波ECR等离子体刻蚀设备Acme Helix430正式问世，与公司现有ICP和CCP刻蚀设备形成技术路线互补。该设备采用自研微波ECR等离子体技术，可同步获得高密度等离子体与超低离子轰击能量，适配浅沟槽隔离、栅极刻蚀等核心工艺，并引入原子层刻蚀（ALE）模式。