北方华创发布第三代12英寸全石英立式氮化硅LPCVD设备SICRIUS SN302D Ⅱ

北方华创面向全球市场推出第三代12英寸全石英立式氮化硅LPCVD设备SICRIUS SN302D Ⅱ，基于全石英腔体架构从源头切断金属污染源。该设备通过在线热场仿真自主演算工艺温控曲线，替代人工经验调参，并配备多温区复合式精密温控系统与原位智能清洗工艺。公司称其适配先进逻辑、存储、功率及第三代半导体、先进封装、硅光集成等场景，已构建涵盖氧化、退火、LPCVD、PEALD的全品类立式炉量产平台。