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北方华创获第二十六届中国专利金奖，为唯一获奖半导体设备企业

北方华创凭《射频阻抗匹配的方法及装置、半导体处理设备》专利获第二十六届中国专利金奖，是本届30项金奖中唯一一家半导体设备企业。该专利可快速扫频匹配目标参数、保证脉冲等离子体点火，降低射频反射功率与功耗，满足先进刻蚀工艺需求。截至最新年报，公司累计申请专利超11300项、授权超6500项，发明专利占比超80%。