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台湾动员学界研发力量，填补后摩尔时代半导体设备缺口
Taiwan mobilizes academic R&D to address post-Moore semiconductor equipment gaps
AI 导读
台湾国家科学技术委员会（NSTC）正就三大优先领域征集设备开发提案：亚纳米硅基半导体、非硅半导体与硅光子耦合。随着商用设备在工艺灵活性、精度参数控制、功能集成与先进技术验证上日益难以满足新兴研发需求，台湾正加大下一代半导体研发设备的开发力度。
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