Tokyo Electron · Product News·2025-12-14 23:00· 2025-12-14精选AI 评分58

TEL 发布 CLEAN TRACK LITHIUS Pro DICE 300mm 涂胶显影机

Tokyo Electron Releases CLEAN TRACK™ LITHIUS Pro DICE™, a 300mm Wafer Coater/Developer

AI 导读

TEL 发布 CLEAN TRACK LITHIUS Pro DICE 300mm 涂胶显影机，面向 EUV 超精细图形化制程。该设备采用新的缺陷控制技术，可将光刻胶涂布缺陷及相关成本较前代降低 50% 以上，涂布与显影速度为业界最快，洁净室占地利用与产能、环保表现较前代提升 25% 以上。

推荐理由

TEL 发布新一代涂胶显影机，缺陷控制与产能指标较前代提升，可跟踪其在高数值孔径 EUV 产线的导入节奏。