二维材料高精度高良率图案化：间隙填充式模板光刻技术

针对二维材料高精度、高良率图案化需求，相关研究采用间隙填充式模板光刻技术实现图案化。该技术路线以模板与间隙填充相结合的方式完成二维材料图形化，兼顾精度与良率两项指标。