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佳能发售KrF半导体光刻机FPA-6400ES6a，实现高生产率与业界高水平套刻精度
佳能发售KrF半导体光刻机“FPA-6400ES6a” ，实现高生产率和业界高水平套刻精度 - 电子工程专辑EE Times China
AI 导读
佳能发售KrF半导体光刻机“FPA-6400ES6a”，主打高生产率与业界高水平套刻精度。该机型面向KrF光刻环节，佳能未在标题与导语中披露具体的分辨率、产能或套刻精度数值。
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