EE Times· USHIO INC.·· 8 天前AI 评分33
Ushio 开始接受 UX-4 系列 LED 光源投影光刻机订单
Accepting Orders for the LED Light-Sourced Projection Aligners
AI 导读
Ushio 的 UX-4 系列全视场投影光刻机已开始接受订单，该设备主要面向功率半导体和 MEMS 等应用，用于提升生产效率。该系列采用 LED 光源，多年来已有成熟的应用记录。
来源：EE Times · eetimes.com