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USHIO UX-4系列LED投影光刻机开始接单

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先了解这件事

AI 综述

USHIO 已开始接受 UX-4 系列全视场投影光刻机订单。该系列面向功率半导体和 MEMS 等应用，采用 LED 光源，用于提升生产效率；USHIO 称该 LED 光源已有多年成熟应用记录。

AI 根据报道生成 · 8 天前更新

最新进展11月3日 23:54

沿着报道，了解事件的不同侧面。

11月3日

23:54
EE Times
Ushio 开始接受 UX-4 系列 LED 光源投影光刻机订单
Ushio 的 UX-4 系列全视场投影光刻机已开始接受订单，该设备主要面向功率半导体和 MEMS 等应用，用于提升生产效率。该系列采用 LED 光源，多年来已有成熟的应用记录。