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DUV光刻机立功！中国芯片的EUV替代方案：三次曝光追平一次EUV
DUV光刻机立功！中国芯片的EUV替代方案：三次曝光追平一次EUV - 驱动之家
AI 导读
驱动之家报道，中国芯片的EUV替代方案是用DUV光刻机进行三次曝光，以追平一次EUV的效果。
来源：Google新闻 · HBM/光刻/封装 · news.google.com
DUV光刻机立功！中国芯片的EUV替代方案：三次曝光追平一次EUV
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驱动之家报道，中国芯片的EUV替代方案是用DUV光刻机进行三次曝光，以追平一次EUV的效果。
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