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泛林半导体谈干式光刻胶:光刻胶的尽头是不用光刻胶
光刻胶的尽头居然是不用光刻胶#光刻机#泛林半导体#干式光刻胶#光刻机#薄膜沉积 - 财富号
AI 导读
泛林半导体(Lam Research)在财富号内容中讨论干式光刻胶技术路线,提出"光刻胶的尽头是不用光刻胶",并将其与光刻机、薄膜沉积环节关联。原文未披露具体型号、参数或量产时间。
来源:Google新闻 · 光刻胶/设备材料 · news.google.com
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泛林半导体(Lam Research)在财富号内容中讨论干式光刻胶技术路线,提出"光刻胶的尽头是不用光刻胶",并将其与光刻机、薄膜沉积环节关联。原文未披露具体型号、参数或量产时间。
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