华海清科首席科学家路新春获ICPT 2026杰出成就奖

华海清科（688120）首席科学家路新春在韩国首尔召开的ICPT 2026上获颁杰出成就奖，以表彰其在CMP领域的开创性研究与产业化贡献。他带领团队研制出我国首台12英寸商用CMP装备并实现规模化量产，打破国外长期技术垄断。