俄白联合研制130nm光刻机样机落地

俄罗斯与白俄罗斯联合研制的130nm光刻机样机已完成并落地，项目负责人同时表示，这台样机距离量产还很远。 目前能确认的只是样机层面的进展，尚未进入可批量生产的阶段；130nm制程属于相对成熟的节点，从样机到量产仍需完成后续工程化工作。

AI 根据报道生成 · 47 分钟前更新

还没有足够的连续观测数据，暂不绘制趋势。