中微临港基地入选2026卓越级智能工厂

中微公司临港产业化基地申报的“全链协同的微观制造半导体装备智能工厂”入选工信部公示的2026年度卓越级智能工厂名单，成为该年度全国唯一入选的半导体装备制造工厂。该基地2023年建成投产。 中微公司称，基地上线ERP、MES、PLM等40余套业务系统，产品研制周期从3至5年缩短至2年内，机台交付周期缩短近40%；已落地12个AI应用场景，构建9大智能体应用，智能晶圆调度系统使机台产能提高15%。上述效率数据均为公司自行披露。

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还没有足够的连续观测数据，暂不绘制趋势。